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发表于 2021-01-13 09:03:34 永利网页版
国内半导体清洗耗材市场将超百亿,国产替代空间巨大

国内半导体清洗耗材市场将超百亿,国产替代空间巨大

以下是一个半导体芯片完整制造流程中需用到清洗的四个关键工序:

第一步,硅片制造 硅片制造主要通过硅料提纯、拉晶、整型、切片、研磨、刻蚀、抛光、清洗等工艺将硅料制造成硅片,然后提供给晶圆加工厂。

第二步,晶圆制造 晶圆制造是半导体制造过程中最重要也是最复杂的环节,整个晶圆制造过程包括数百道工艺流程,涉及数十种半导体设备。晶圆制造主要的工艺流程包括热处理、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨和清洗。

第三步,光刻和刻蚀工艺 光刻是将设计好的电路图从光刻版或倍缩光刻版转印到晶圆表面的光刻胶上,便于后续通过刻蚀和离子注入等工艺实现设计电路,是晶圆制造中最重要的技术。光刻工艺包括三个核心流程:涂胶、对准和曝光以及光刻胶显影。整个光刻过程需要经过八道工序:晶圆清洗、表面预处理、光刻胶自旋涂敷、软烘烤、对准、曝光、曝光后烘烤、显影、坚膜烘烤和图形检测。 第四步,化学机械研磨工艺和 清洗

清洗是贯穿晶圆制造的重要工艺环节,用于去除晶圆制造中各工艺步骤中可能存在的杂质,避免杂质影响芯片良率和芯片产品性能。目前,随着芯片制造工艺先进程度的持续提升,对晶圆表面污染物的控制要求不断提高,每一步光刻、刻蚀、沉积等重复性工序后,都需要一步清洗工序。清洗不仅应用于晶圆制造,在硅片制造和封装测试过程中也必不可少。

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